Beschreibung

Книга посвящена изложению теории и практики CVD-метода (Chemical Vapor Deposition) - осаждению металлических пленок, покрытий, вискеров и высокодисперсных частиц из паровой (газовой) фазы летучих металлсодержащих соединений - карбонилов металлов, бис-пи-циклопентадиенильных соединений (металлоцены), алкилов металлов, бета-дикетонатов металлов и галогенидов металлов. Описаны принципы выбора исходных веществ для CVD-металлизации в вакууме, в несущем газе, в плазме газового разряда, при электронно-дуговом методе и при помощи лазера. Изложен материал по получению функциональных металлических пленок, покрытий и вискеров использующихся в радиоэлектронике, электронной технике, машиностроении, авиации, космонавтике и других отраслях науки и техники. Для широкого круга лиц, интересующихся вопросами получения металлов в виде различных модификаций, химиков, работающих с металлоорганическими соединениями и специализирующихся на методах их термической диссоциации.

Rezensionen ( 0 )
Every Friday we give gifts for the best reviews.
The winner is announced on the pages of ReadRate in social networks.
Zitate (0)
Sie können als Erste ein Zitat veröffentlichen.
Genres:
Top