Металлоорганические соединения в электронике

В монографии обобщен и систематизирован большой материал в области применения металлоорганических соединений в электронике. Изложены аспекты практического применения металлоорганических соединений в лазерах, для получения проводящих, резистивных, диэлектрических тонких пленок, полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур, а также для получения чистых материалов, защитных покрытий и т.д. Приводится теоретическое обоснование технологического применения металлоорганических соединений в производстве ряда изделий электроники. Монография содержит фактический материал по физико-химическим свойствам металлоорганических соединений. Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области химии металлоорганических соединений и производства материалов для электроники, работников промышленности, студентов, аспирантов и преподавателей вузов.