Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов
Автор:
Изложена технология производства силовых полупроводниковых приборов. Описаны технологические операции и оборудование процессов механической, химической, термической, фотолитографической обработки полупроводниковых материалов, сборки узлов и герметизации приборов. Рассмотрены требования техники безопасности, полупроводниковой гигиены и межоперационный контроль. Предназначена в качестве учебника по курсу "Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов" для учащихся техникумов.
- 1984 г.
Материалы
Отзывы
Раз в месяц дарим подарки самому активному читателю.Оставляйте больше отзывов, и мы наградим вас!
Цитаты
Вы можете первыми опубликовать цитату