Лазерный синтез сенсорных пленок на основе диоксида олова
Автор:
В книге представлены результаты исследований по лазерному синтезу полупроводниковых пленок на основе диоксида олова для газовых сенсоров, изучению влияния структуры, состава и энергетических параметров плазмы легирующих металлов на электрофизические характеристики, определяющие газочувствительность пленок. Актуальность данной работы обусловлена не только широким распространением метода лазерной абляции для синтеза пленок, но и практическим применением сенсоров на основе диоксида олова для детектирования токсичных и взрывоопасных газов. Проведен анализ литературы по экспериментальным и теоретическим исследованиям лазерной плазмы, методам лазерного синтеза оксидных пленок и модификации поверхностных свойств материалов при плазменном и ионном воздействии, приведены основные результаты экспериментов по электростатическому зондированию и измерению зарядового состава и структуры лазерной плазмы Pd и Pt, морфологии, профилей распределения легирующих металлов по толщине пленок SnO2,...
- 2012 г.
- 9783846512852
Материалы
Отзывы
Раз в месяц дарим подарки самому активному читателю.Оставляйте больше отзывов, и мы наградим вас!
Цитаты
Вы можете первыми опубликовать цитату