Дефекты кристаллической структуры полупроводниковых материалов. Учебное пособие

В настоящем учебном пособии рассмотрены основные типы дефектов кристаллической решётки и их влияние на свойства полупроводникового кристалла. Полупроводниковый кристалл - основа микроэлектроники. Создание полупроводниковых материалов со строго заданными параметрами электрических и оптических свойств - сложнейший технологический процесс. Малейшие отклонения от заданного состава полупроводникового материала, как широко известно, приводят к неконтролируемому изменению его свойств. Менее широко известно, что практически такую же роль играет степень дефектности полупроводникового кристалла, т.е. количество и качество отклонений от идеальной кристаллической структуры, появляющихся в кристалле в процессе его роста под влиянием многочисленных внешних факторов: диффузионных ограничений, температурных флуктуации, побочных химических реакций и т.д. Книга адресована студентам, специализирующимся по направлениям "Физическая химия", "Неорганическая химия", и может...