Емкостные преобразователи МЭМС

Емкостный принцип преобразования энергии позволяет создавать электромеханические преобразователи со значительной энергоемкостью (до 10 Дж/кг) в области малых мощностей (до 1 мВт) и габаритных размеров (от 1 мкм до 1 мм по крайней мере в одном направлении). В связи с этим в современных микроэлектромеханических системах (МЭМС) широко используются емкостные преобразователи. К перспективным областям применения МЭМС относятся: медицинская микроробототехника, системы безопасности транспортных средств, системы ориентации беспилотных летательных аппаратов, сейсморазведка и т.д. Емкостный преобразователь МЭМС представляет собой конденсатор с подвижной обкладкой. С целью повышения энергоемкости для изготовления емкостных преобразователей используются различные варианты конструкций и применяются материалы с повышенной относительной диэлектрической проницаемостью (до 10000 и выше). В книге приведены конструкции емкостных преобразователей, материалы для их изготовления, методы моделирования и...