Фотоэлектрические измерительные микроскопы

В книге изложены основы теории фотоэлектрических микроскопов (ФЭМ) для измерения малых размеров и смещений, рассмотрены методы расчета различного рода аппаратуры (как лабораторной, так и контрольно-измерительной), предназначенной для измерения малых относительных смещений штрихов и соответственно участков поверхности твердых тел, на которых нанесены эти штрихи, для измерения поперечных размеров изделий по их тени, для оценки средних размеров малых частиц неразрушающими фотоэлектрическими методами; особое внимание уделено путям повышения точности такого рода приборов, приведены описания конкретных образцов аппаратуры рассматриваемого типа. Книга предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся исследованиями, разработкой и конструированием средств измерительной техники.