Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
-
Сейчас читают
-
Отложили
-
Прочитали
-
Не дочитали
Автор:
Рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, применяемое современное оборудование. Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические...Ещё
Рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, применяемое современное оборудование. Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинтересовать современные возможности и перспективы развития фотолитографии.
- 1978 г.
Материалы
Отзывы
Раз в месяц дарим подарки самому активному читателю.Оставляйте больше отзывов, и мы наградим вас!
Цитаты
Вы можете первыми опубликовать цитату