Интегральные микромеханические зеркала
-
Сейчас читают
-
Отложили
-
Прочитали
-
Не дочитали
Автор:
Рассмотрены принципы построения микромеханических зеркал и устройств обработки сигналов емкостных преобразователей перемещений. Представлены разработанные методы построения микромеханических зеркал с крестообразным и интегрированным внутренними подвесами, уравнения движения...Ещё
Рассмотрены принципы построения микромеханических зеркал и устройств обработки сигналов емкостных преобразователей перемещений. Представлены разработанные методы построения микромеханических зеркал с крестообразным и интегрированным внутренними подвесами, уравнения движения зеркальных элементов и модели для расчета жесткостей упругих подвесов предложенных устройств. Предложен метод проектирования микромеханических зеркал.
- 2013 г.
- 9783659407420
Материалы
Отзывы
Раз в месяц дарим подарки самому активному читателю.Оставляйте больше отзывов, и мы наградим вас!
Цитаты
Вы можете первыми опубликовать цитату