Ионное азотирование в тлеющем разряде с магнитным полем

В первой главе приводится обзор литературы, связанный с проблемами интесифкациия процесса азотирования. Анализируются основные существующие на сегодняшний день методы азотирования. Рассматриваются способы интенсификации процесса ионного азотирования. Во второй главе представлена методика и схема экспериментальной установки для исследования влияния магнитного поля на вольтамперные и зондовые характеристики тлеющего разряда. В третьей главе представлены результаты экспериментов, целью которых было исследовать влияние магнитного поля на вольтамперные характеристики тлеющего разряда. Моделирование, методом конечных элементов, магнитного поля в прикатодной области и зондовые измерения, позволили определить области с высокой концентрацией заряженных частиц. В четвертой главе представлены результаты исследования влияния ионного азотирования в тлеющем разряде с магнитным полем и без магнитного поля на структуру, фазовый состав и микротвердость инструментальных сталей Р6М5. В пятой главе...