Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов
Автор:
В книге описываются электрические, оптические, рентгеновские и электронномикроскопические методы контроля технологии изготовления полупроводниковых приборов. Рассматриваются принципы организации технологического контроля при разработках и в производстве приборов. Книга рассчитана на инженеров и технологов, занимающихся разработкой и производством полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также на студентов, специализирующихся в области физики и технологии полупроводниковых приборов.
- 1973 г.
Материалы
Отзывы
Раз в месяц дарим подарки самому активному читателю.Оставляйте больше отзывов, и мы наградим вас!
Цитаты
Вы можете первыми опубликовать цитату