Микросистемные датчики физических величин: монография в двух частях

В книге изложены современные принципы построения, методы расчета и проектирования микросистемных датчиков физических величин и измерительных систем на их основе. Приведены примеры разработок новых изделий.Направления "Электроника и наноэлектроника", "Радиотехника", "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", "Информатика и вычислительная техника", "Конструирование и технология электронных средств" предназначены для студентов.Также книга может быть полезной студентам смежных специальностей, аспирантам, инженерам и научным работникам, связанным с созданием первичных приборов информации на интегральных принципах.