Плазма смеси HCl-He

Данная работа посвящена анализу влияния состава газовой фазы на кинетику образования и гибели активных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного тока смеси хлористого водорода гелием, а также выявление взаимосвязей между интенсивностями излучения и концентрациями частиц в смесях переменного состава. Оптимальное сочетание диагностики и моделирования плазмы позволяет эффективно решать как научно-исследовательские, так и инженерные задачи, способствуя усилению роли плазменных процессов в высокотехнологичных и наукоемких областях производства, в том числе – в электронной промышленности.