Плазменные источники ионов с полым катодом

Настоящая работа посвящена новым аспектам научного исследования, модернизации и применения источников ионов на основе газового разряда с полым катодом. Несмотря на то, что источники данного типа обладают рядом бесспорных достоинств, об их успешном применении в современных технологиях микроэлектроники известно крайне мало. В связи с этим, автор изучает работу источников на химически активных газах, в число которых входят органические соединения для «набирающей ход» углеродной (органической) электроники и детально описывает процессы создания новых технологических источников с улучшенными техническими характеристиками. Помимо этого, в число представленных в книге разработок входят источники с большой площадью поперечного сечения пучка частиц, востребованные промышленными производственными установками. Автор приводит результаты разработки и анализа основ технологий синтеза различных модификаций тонких пленок углерода, а также очистки подложек микроплат непосредственно с помощью пучков...