Производство полупроводниковых приборов

В книге приводятся сведения о способах и особенностях производства полупроводниковых приборов. Даны сведения о продукции полупроводниковых предприятий, основах технологической подготовки производства. Приведены необходимые сведения о применяемых материалах, типовых технологических процессах, технологической гигиене, технике безопасности. Книга рассчитана на техников-технологов, мастеров, рабочих, занимающихся производством полупроводниковых приборов. Она может служить в качестве учебного пособия для повышения квалификации рабочих полупроводникового производства.