Радиацоинно-термическая обработка МОП-приборов и интегральных схем
-
Сейчас читают
-
Отложили
-
Прочитали
-
Не дочитали
В книге рассмотрены особенности планарных МОП-структур на основе кремния и физические особенности строения пленки оксида кремния на кремнии. Отмечается роль механических напряжений в структуре "оксид кремния-кремний". Приводятся результаты исследования эффекта...Ещё
В книге рассмотрены особенности планарных МОП-структур на основе кремния и физические особенности строения пленки оксида кремния на кремнии. Отмечается роль механических напряжений в структуре "оксид кремния-кремний". Приводятся результаты исследования эффекта радиационно-термической обработки (РТО). Предлагается применение РТО для выявления аномальных структур и для диагностики технологического процесса изготовления изделий с МОП-структурой.
- 2013 г.
- 9783659983337
Материалы
Отзывы
Раз в месяц дарим подарки самому активному читателю.Оставляйте больше отзывов, и мы наградим вас!
Цитаты
Вы можете первыми опубликовать цитату