Распад пересыщенных полупроводниковых твердых растворов

В монографии рассмотрены принципиальные отличия явления распада в полупроводниках от распада в металлах. Показано возникновение в полупроводниках качественно новых закономерностей - ускорение распада, появление дополнительных кинетических стадий и др. Развит квазихимический подход для описания процессов взаимодействия примесных атомов с дефектами и анализа кинетических кривых распада. Подробно рассмотрены экспериментальные методы исследования распада и приведены результаты изучения распада твердых растворов примесей в германии, кремнии и арсениде галлия. Книга предназначена для научных работников и инженеров, специализирующихся в материаловедении полупроводников, металловедении, физике твердого тела, а также в смежных областях, использующих полупроводниковые материалы. Может быть полезной студентам и аспирантам вузов при изучении процессов термической обработки металлов и полупроводников.