Столкновительные процессы в низкотемпературной плазме

Пособие основано на лекциях по физике низкотемпературной плазмы, прочитанных для студентов 3 курса Московского физико-технического института. Характер изложения ориентирован на знания по общей физике и базируется в основном на классических представлениях об элементарных столкновительных процессах в низкотемпературной плазме. Рассмотренные явления играют важную роль в технологических процессах изготовления наноструктурирования материалов. Изложенные методы описания широко используются в математическом моделировании роста наноструктур. Предназначено для студентов, специализирующихся в области физики плазмы и смежных областях.