Точное машиностроение для микроэлектроники

Рассмотрены научные, организационные и технические основы разработки прецизионного технологического оборудования для микроэлектроники. Указаны пути обеспечения производительности оборудования, удовлетворяющей требованиям массового производства при микронных и субмикронных точностях перемещений и оптического разрешения. Приведено описание современного прецизионного оборудования для производства интегральных схем. Для инженерно-технических работников, разрабатывающих и эксплуатирующих прецизионное оборудование в электронной промышленности.