Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике

Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу "Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники".В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники.Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.