Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела

Книга посвящена вторично-эмиссионным методам исследования поверхностных и объемных свойств твердого тела. В основе этих методов лежат разнообразные физические явления, наблюдаемые при взаимодействии с твердым телом электронов малых и средних энергий (от 1 эВ до 100 кэВ). В книге рассматриваются физические основы методов дифракции медленных электронов (ДМЭ), электронной оже-спектроскопии (ЭОС) и характеристических потерь энергии электронов (ХПЭ), описываются различные способы приготовления образцов (мишеней), методы очистки поверхности, источники моноэнергетических пучков первичных электронов, методы измерения основных величин, характеризующих зарядку диэлектриков, электронно-возбужденную проводимость (ЭВП), вторичную электронную эмиссию (ВЭЭ), упругое и неупругое рассеяние электронов в твердых телах. Большое внимание уделено специфике методов изучения неметаллических объектов в условиях, когда можно исключить побочные эффекты. Описываются элементы экспериментальной аппаратуры и...