Введение в микроэлектронику

Книга является переводом первого тома 11-томной серии по микроэлектрони­ке, написанной крупными японскими специалистами. В эту серию входят книги, дающие исчерпывающий обзор современного состояния методов конструирования, технологии производства и применений интегральных схем. Излагаются методы проектирования и изготовления интегральных схем, а также их базовые струк­туры. Большое внимание уделено новой технологии изготовления схем, обеспечи­вающей получение практически бездефектных приборов. Для специалистов в области микроэлектроники и вычислительной техники, инженеров, занимающихся использованием этой техники, а также студентов соот­ветствующих специальностей.